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中科院微電子研究所KW-5型勻膠機(jī)/旋涂儀

更新時間：2023-11-12

簡要描述：

中國科學(xué)院微電子研究所生產(chǎn)的KW-4A/KW-5型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。

品牌其他品牌價格區(qū)間1-5萬
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,航空航天

中國科學(xué)院微電子研究所生產(chǎn)的KW-4A/KW-5型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。 

技術(shù)參數(shù)及要求：變頻調(diào)速
基片尺寸：Φ100-Φ200mm（4 英寸～8 英寸）
轉(zhuǎn)速：500-5000 轉(zhuǎn)/分
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1%
旋涂均勻性：±5％
旋涂工藝階段：2 段
旋涂時間：Ⅰ速0~18S；Ⅱ速0~60S
整機(jī)尺寸（長寬高）：425 mm×500 mm×300 mm
裸機(jī)尺寸（長寬高）：425mm×500mm×190mm
電機(jī)功率：180W
適應(yīng)材料：硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各種材料

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